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日本限制23種半導體設備和材料明細

發布時間：2023.06.05


日本今天開始正式限制23種半導體設備和材料出口給我國的企業，清單如下：
DUV光刻機
感光膠
化學機械拋光設備
離子注入設備
氣相化學氣相沉積設備
熱氧化設備
外延設備
磁控濺射設備
離子束刻蝕設備
低介電常數材料
高純度氫氟酸
氮氣
氟化氫
高純度氮氣
高純度氧氣
高純度氬氣
高純度氦氣
高純度氫氣
高純度二氧化硅
高純度氯氣
高純度氟氣
高純度氟化氫
高純度氫氟酸


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